武漢紫外固化箱曝光方法，適于利用一臺UVLED曝光機(jī)對晶片進(jìn)行曝光。這種紫外固化箱至少是由用來承載晶片的曝光鏡頭以及液體循環(huán)裝置構(gòu)成，其中液體循環(huán)裝置在曝光期間為曝光鏡頭與晶片之間供應(yīng)液體。其特征在于，半導(dǎo)體UVLED曝光前，UVLED利用至少一對準(zhǔn)光源對承載臺進(jìn)行一對準(zhǔn)操作，其中對準(zhǔn)光源具有一特定波長，使液體揮發(fā)時(shí)對對準(zhǔn)光源的影響降至zui低，以防止液體影響前述對準(zhǔn)操作。紫外固化箱在替代傳統(tǒng)UV汞燈方面已經(jīng)顯現(xiàn)出巨大的*性，對于節(jié)約成本、改善工藝提供了更優(yōu)的選擇，隨著芯片封裝技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，芯片成本進(jìn)一步優(yōu)化，大面積、高功率的UVLED紫外面型光源源應(yīng)用會日益廣泛。